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永鼎股份获得发明专利授权:“用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法及装置”

来源:证券之星企业动态 2025-03-01 03:25:17
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示永鼎股份(600105)新获得一项发明专利授权,专利名为“用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法及装置”,专利申请号为CN202411484599.0,授权日为2025年2月28日。

专利摘要:本发明公开了用于VCSEL芯片湿法氧化孔径的监测调控方法及装置,涉及垂直腔面发射激光器相关领域,该方法包括:获得光束期望直径、光束期望发散角、光束期望轮廓和桶中期望功率;根据VCSEL芯片应用场景类型,采集氧化孔形状参数和氧化孔均匀系数;通过光束质量预测器进行映射,生成光束预测直径、光束预测发散角、光束预测轮廓和桶中预测功率;选取满足光束期望直径、光束期望发散角、光束期望轮廓和桶中期望功率的湿法氧化控制参数,设为监测调控基准参数;进行湿法氧化监控。解决了现有VCSEL芯片湿法氧化孔径调控存在的精度控制不足的技术问题,达到了提高VCSEL芯片氧化孔径的精度控制水平的技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权7个,较去年同期减少了36.36%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.1亿元,同比增10.72%。

数据来源:天眼查APP

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