中微公司获得实用新型专利授权：“一种加热灯和化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种加热灯和化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202323460047.X，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种加热灯和化学气相沉积设备，加热灯包括中段加热管、第一连接管、第二连接管、灯丝和灯丝支撑部。第一连接管和第二连接管连接于中段加热管的两端；第一连接管和第二连接管的管体自中段加热管朝向同一方向延伸；灯丝设置于中段加热管内并延伸至第一连接管内和/或第二连接管内；灯丝支撑部设置于第一连接管和第二连接管内，灯丝支撑部用于支撑灯丝以避免灯丝和第一连接管或第二连接管的管壁接触。本实用新型的加热灯，通过将灯丝设置为自中段加热段延伸至第一连接管和/或第二连接管内，使得相邻两个加热灯之间位置所对应的晶圆也可以被加热，从而提高晶圆表面加热后各处温度的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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