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中微公司获得实用新型专利授权：“喷淋头组件及等离子体处理设备”

来源：证券之星企业动态 2025-01-07 02:28:57

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“喷淋头组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202420789767.6，授权日为2025年1月7日。

专利摘要：本实用新型提供一种喷淋头组件及等离子体处理设备。所述喷淋头组件包括：导气板，其中开设有第一气体通道和两个或以上数量的第二气体通道，多个所述第二气体通道围绕所述第一气体通道设置；喷淋板，其位于所述导气板下方并与所述导气板机械连接，所述导气板与所述喷淋板之间形成匀气腔；第一进气管，连通所述第一气体通道和反应气体源；两个或以上数量的第二进气管，每一第二进气管连通一个所述第二气体通道和远程等离子体源。本实用新型对反应腔的中部和边缘都能进行充分清洗，提高清洁效率，降低成本。

今年以来中微公司新获得专利授权9个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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