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江丰电子获得实用新型专利授权:“一种靶材”

来源:证券之星企业动态 2024-12-24 02:47:01
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种靶材”,专利申请号为CN202323383709.8,授权日为2024年12月24日。

专利摘要:本实用新型属于物理气相沉积技术领域,公开了一种靶材,包括第一台阶和第二台阶,第一台阶和第二台阶一体成型,在第一台阶和第二台阶设有相连的花纹组,花纹组包括第一花纹和第二花纹,第一花纹设于第一台阶的侧面,第二花纹设于第二台阶的表面,第一花纹与第二花纹相互连接,第一花纹由多个凸出部连接形成,凸出部具有尖角,第二花纹与第一花纹结构相同。本实用新型的靶材,能够提升靶材边缘处反溅射物质的积累数量,延后反溅射物质的脱落,保证半导体镀膜质量的同时,还能够提高靶材的使用率,减少靶材的浪费。

今年以来江丰电子新获得专利授权76个,较去年同期减少了36.13%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.02亿元,同比增30.77%。

数据来源:天眼查APP

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