中微公司获得实用新型专利授权：“一种加热装置及半导体处理设备”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种加热装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202323552649.8，授权日为2024年12月10日。

专利摘要：本实用新型公开一种加热装置及半导体处理设备。加热装置包括光缆，以及连接光缆末端的光投射器，所述光投射器沿光缆的出射光方向依次排布的准直部、扩束部、修正部和分光部；所述准直部用于将光缆的出射光转变为第一平行光；所述扩束部用于将所述第一平行光变成直径更大的第二平行光；所述修正部用于将所述第二平行光的中心光能量向边缘移动，形成第三平行光；所述分光部用于将所述第三平行光折射后转化为环形光，以向待加热面投射光密度均匀的环形光斑。通过可调环形光源，改善在环型区域的加热均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权114个，较去年同期减少了21.92%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。