贵研铂业获得发明专利授权：“一种磁控溅射铜靶材的制备方法以及靶材的应用”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示贵研铂业（600459）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种磁控溅射铜靶材的制备方法以及靶材的应用”，专利申请号为CN202211044447.X，授权日为2024年11月22日。

专利摘要：本发明公开了一种磁控溅射铜靶材的制备方法以及靶材的应用，所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm，且分布均匀、取向分布趋于一致。制备步骤包括：将纯度≥4N的铜原料依次进行1)连续铸造；2)坯料切割；3)异径异步叠轧；4)同径同步轧制；5)热处理，制得高纯铜靶材。该方法工艺简单、易于工业化生产，制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀细小、取向较为一致、靶材尺寸较大等特点，可应用于大规模集成电路互连线的溅射镀膜。

今年以来贵研铂业新获得专利授权17个，较去年同期减少了63.83%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.2亿元，同比增23.71%。