拓荆科技获得发明专利授权：“位置调整量监测装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“位置调整量监测装置”，专利申请号为CN202111675399.X，授权日为2024年7月26日。

专利摘要：本发明提供了一种位置调整量监测装置，用于检测半导体设备内加热盘的水平位置，包括：检测器板，所述检测器板上设置有孔洞，所述孔洞用于容纳加热盘与加热盘安装座之间的连接杆；位移检测器，所述位移检测器以所述孔洞的中心为中心沿圆周方向间隔排列，其检测头抵接于所述加热盘安装座的表面；与所述检测器板固定连接的连接件，用于所述检测器板安装于所述半导体设备，使用连接件使设置有位移检测器的检测器板安装于半导体设备的工艺腔体外部，有利于在工艺进行的同时监测加热盘的位置，简化将工艺效果与位置调整量关联起来的步骤，减小调整设备的时间成本，以提高整体的工艺效率。

今年以来拓荆科技新获得专利授权18个，较去年同期减少了58.14%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：企查查

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