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XD天合光获得实用新型专利授权:“环形水冷屏及单晶加工装置”

来源:证券之星企业动态 2024-06-21 02:17:22
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证券之星消息,根据企查查数据显示XD天合光(688599)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“环形水冷屏及单晶加工装置”,专利申请号为CN202322532015.X,授权日为2024年6月21日。

专利摘要:本申请涉及一种环形水冷屏及单晶加工装置,环形水冷屏包括冷屏本体和连通管,冷屏本体包括沿第一方向排布且连接第一段和第二段,第一段包括相连接第一内壁和第一外壁,第一内壁和第一外壁围设形成第一空间,第二段包括相连接第二内壁和第二外壁,第二内壁和第二外壁围设形成第二空间,第一内壁和第二内壁形成用于容纳晶棒的空腔,其中,第一方向为晶棒的拉伸方向;连通管两端分别连接于第一内壁和第二内壁,以使冷却液体能够依次流经第一空间、连通管、第二空间。本申请通过设置连通管连接第一空间和第二空间,从而使第一空间和第二空间内的冷却液体的流量不一致,增大了第一空间和第二空间的温差,提高了硅单晶体的生产效率。

今年以来XD天合光新获得专利授权220个,较去年同期增加了185.71%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了15.43亿元,同比增26.42%。

数据来源:企查查

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