清溢光电获得实用新型专利授权：“一种IC掩膜版CD测量机”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示清溢光电（688138）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种IC掩膜版CD测量机”，专利申请号为CN202322825222.4，授权日为2024年6月14日。

专利摘要：本实用新型公开了一种IC掩膜版CD测量机，包括固定底架、花岗岩基座、XY轴精密中空平台、电气控制系统、透射光源系统、Z轴支架、Z轴精密模组、显微成像系统、主动式隔振机构。本实用新型所提出的一种IC掩膜版CD测量机，实现了对于IC掩膜版的测量，设备最小可测量线缝宽度为0.4um,测量精度与重复精度可达5nm，可兼容多尺寸掩膜版，整机外形尺寸较小，可节省无尘室的宝贵空间。

今年以来清溢光电新获得专利授权1个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了4895.34万元，同比增9.41%。

数据来源：企查查

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