晶合集成获得实用新型专利授权：“一种显影装置及显影机”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种显影装置及显影机”，专利申请号为CN202322667690.3，授权日为2024年5月17日。

专利摘要：本实用新型提供了一种显影装置及显影机，应用于半导体集成电路制作技术领域。包括晶圆承载台和位于晶圆承载台上方的显影箱，显影装置还包括：分别连接在显影箱的底面上的至少一组显影组件和至少两组清洗组件；显影组件和清洗组件均包括依次相连的自转电机、倾斜旋转电机和喷头，且自转电机的顶端均固定连接在显影箱的底面上，自转电机的底端均设有第一传动轴，自转电机均通过第一传动轴与一倾斜旋转电机的顶端连接，倾斜旋转电机的底端均设有第二传动轴，倾斜旋转电机均通过第二传动轴与喷头朝向晶圆承载台的一侧连接。达到改善晶圆表面因不同区域接触显影液的时间、浓度差异所导致的显影不均而降低显影率的目的。

今年以来晶合集成新获得专利授权126个，较去年同期增加了137.74%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了10.58亿元，同比增23.39%。

数据来源：企查查

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