中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其工作方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其工作方法”，专利申请号为CN202011191143.7，授权日为2024年5月10日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置及其工作方法，该等离子体处理装置包含：真空反应腔，其由反应腔腔体和腔体端盖包围而成；下电极组件，设置在所述真空反应腔内；可移动上电极组件，与所述下电极组件相对设置，所述可移动上电极组件和下电极组件之间为等离子体环境；所述反应腔腔体设置有若干个观测窗，所述观测窗外部设置有若干个可移动监测仪，所述可移动监测仪用于监测所述可移动上电极组件与所述下电极组件之间的夹角和同心度。其优点是：将观测窗与可移动监测仪相结合，其结构简单，观测方便，便于工作人员的日常维护与使用，更进一步保证了晶圆刻蚀的效果。

今年以来中微公司新获得专利授权58个，较去年同期减少了7.94%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成（网信算备310104345710301240019号），与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信