证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆的检测夹持设备”,专利申请号为CN202311839208.8,授权日为2024年3月22日。
专利摘要:本发明公开了一种晶圆的检测夹持设备,包括:承载基台,其上转动设有旋转主体;齿环,设于旋转主体上,齿环能够相对旋转主体转动;多个工作臂,设于旋转主体的顶部,多个工作臂在旋转主体的周向上间隔分布,且能够在旋转主体的径向上滑动;工作臂具有夹持晶圆时的夹持状态和脱离晶圆时松开状态;多个中间单元,设于齿环上,中间单元包括与工作臂联动的摆臂,齿环通过摆臂与工作臂联动;推压单元,设于承载基台上,且位于旋转主体的外周,推压单元包括能够在旋转主体的径向上做直线往复运动的推压块,推压块具有工作位置,当推压块位于工作位置且工作臂转动至推压单元时,推压块能够作用于摆臂以使摆臂带动工作臂朝向推压块运动。
今年以来赛腾股份新获得专利授权29个,较去年同期增加了123.08%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。
数据来源:企查查
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