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赛腾股份获得发明专利授权:“晶圆的检测治具”

来源:证券之星企业动态 2024-03-23 02:41:04
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证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆的检测治具”,专利申请号为CN202311839094.7,授权日为2024年3月22日。

专利摘要:本发明公开了一种晶圆的检测治具,所述晶圆的检测治具包括:基台;旋转主体,转动设于基台上,旋转主体呈圆环状;齿环,设于旋转主体的外周,且能够相对旋转主体转动;多个夹持臂,沿旋转主体的径向滑动设于旋转主体的顶部,且在旋转主体的周向上间隔分布;夹持臂具有朝向旋转主体的中心运动时的夹持状态和远离旋转主体的中心运动时的松开状态;其中,齿环与多个夹持臂联动配合,齿环相对旋转主体具有第一转动位置和第二转动位置,多个夹持臂响应于齿环由第一转动位置向第二转动位置的转变而由松开状态转变为夹持状态,并且多个夹持臂响应于齿环由第二转动位置向第一转动位置的转变而由夹持状态转变为松开状态。

今年以来赛腾股份新获得专利授权29个,较去年同期增加了123.08%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。

数据来源:企查查

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