证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项发明专利授权,专利名为“检测设备”,专利申请号为CN202311793770.1,授权日为2024年3月8日。
专利摘要:本发明公开了一种检测设备,用于检测晶圆,包括:工作台,其台面上设有避让口,所述避让口在上下方向上贯穿所述工作台的台面;承载治具,设于所述工作台上,且位于所述避让口的上方,所述承载治具被配置为支撑所述晶圆;相机,设于所述工作台上,且朝向所述晶圆设置,用于为所述晶圆拍摄检测图像;其中,所述相机通过第一位置调节组件设于所述工作台上,所述第一位置调节组件被配置为调节所述相机的焦距和所述相机相对所述晶圆的倾角大小。
今年以来赛腾股份新获得专利授权25个,较去年同期增加了127.27%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。
数据来源:企查查
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