赛腾股份获得发明专利授权：“晶圆自动定位设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示赛腾股份（603283）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆自动定位设备”，专利申请号为CN202311780233.3，授权日为2024年2月23日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆自动定位设备，属于半导体制造领域，其包括旋转装置，旋转装置包括：转轴机构，包括轴套组件、转轴、轴承和衬套，转轴同轴穿设于轴套组件中，轴承数量为两个，且分别同轴设置在轴套组件的上端和下端，轴承的外圈与轴套组件固定连接，轴承的内圈与转轴固定连接，衬套同轴设置在轴套组件和转轴之间，衬套的两端抵持在两轴承的内圈之间；吸附头，与转轴的上端固定连接；驱动机构，与转轴的下端传动连接；其中，轴套组件和衬套之间形成有第一抽吸腔，衬套和转轴之间形成有第二抽吸腔，转轴内部形成有与吸附头连通的真空通道，第二抽吸腔分别与第一抽吸腔和真空通道相通。本发明采用上述结构，转轴机构内部的气路密封性佳。

今年以来赛腾股份新获得专利授权24个，较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元，同比增12.17%。

数据来源：企查查

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