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江化微获得发明专利授权:“一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺”

来源:证券之星企业动态 2023-12-27 01:56:16
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证券之星消息,根据企查查数据显示江化微(603078)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺”,专利申请号为CN202111622391.7,授权日为2023年12月26日。

专利摘要:本发明公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物,主要组成为硝酸、乙酸、A酸、银离子络合剂和水,A酸为选自有机磺酸和磷酸中的至少一种,银离子络合剂为氨基羧酸或者羟基羧酸;还包括除银离子络合剂外的C4~C10多羟基化合物。本发明高寿命银膜蚀刻液组合物基于现有的硝酸乙酸混酸体系,多羟基化合物在基板中裸露的铝表面自组装成膜,银离子络合物充分络合游离的银离子,降低蚀刻体系中的银离子与铝表面接触的几率,延长蚀刻液的使用寿命,提高产线生产效率。本发明还公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物的蚀刻工艺。

今年以来江化微新获得专利授权10个,较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3159.88万元,同比增87.01%。

数据来源:企查查

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