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国林科技(300786)答投资者问

请问臭氧在3D堆叠结构这样的高深宽比场景下的应用窗口及优势在哪？

尊敬的投资者，您好。公司的半导体专用臭氧系统设备能够产生高浓度、超纯净的臭氧，臭氧在电子工业领域被广泛用于形成CVD及ALD薄膜、氧化物生长等工艺环节。在3D NAND存储芯片结构中，臭氧因其高氧化性、清洁效率和环保特性，能够满足半导体制造对精度、缺陷控制和材料兼容性的严苛要求，从而实现纳米级均匀氧化层的形成。感谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2026/9/11 12:03:04

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