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国林科技(300786)答投资者问

干法清洗：工艺过程中不涉及溶液，通常借助氟（Fluorine）或氯（Chlorine）气体，通过等离子体（Plasma）方式进行清洗。而公司之前提过臭氧气体也是干法清洗的一个选项，请问臭氧气体在干法清洗与氟氯气体对比，有何独特地方？

尊敬的投资者，您好。臭氧清洗整体反应条件相对温和，氟氯等离子体活性更高，分别适配不同工艺需求。感谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2026/9/11 12:03:22

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