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联合化学(301209)答投资者问

董秘您好，请问参股子公司米莱芯程本次交付的光刻机成套光学系统，从技术原理层面理论上可否适配KrF248nm光刻设备，实现110nm制程曝光；同时公司是否具备干式ArF193nm光学系统相关技术储备？

尊敬的投资者您好，公司投资参股公司米莱芯程业务正在稳步进行中，后续若有涉及上市公司信息披露义务的，公司将严格按照相关规定履行信息披露义务。感谢您的关注!

来源：互动易     答复时间：2026/8/14 15:02:57

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