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聚光科技(300203)答投资者问

公司ICPMS/MS目前12寸先进制程（14/7nm）晶圆厂仅验证还是已小批量供货？是否进入中芯/华虹12寸量产线？

感谢您对公司的关注，公司推出的EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS系统在半导体检测领域持续深化布局，已成功构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留以及高纯石英材料等关键材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系，目前该技术平台已在产业链上游实现应用，成功完成供应商的产品导入和交付验证。在集成电路制造端，EXPEC 7350s型 ICP-MS/MS已通过了在晶圆制造龙头企业的高纯湿化学品金属杂质监控体系中的应用评估，同时在晶圆表面金属污染检测（VPD-ICP-MS/MS）领域同样通过了客户的验证评估。谢谢！

来源：互动易     答复时间：2026/7/22 16:58:09

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