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大洋生物(003017)答投资者问

据悉大洋投资的芯之纯半导体材料公司产品，主要用于半导体制造前道工序，比如刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。请问公司产品涉及陶瓷材料，陶瓷加热器和静电卡盘吗？谢谢

尊敬的投资者，您好！芯之纯半导体材料有限公司主要生产碳化硅高纯陶瓷产品，如石墨托盘、聚焦环、喷淋头等。产品属于半导体制造设备核心零部件。

来源：互动易     答复时间：2026/3/11 15:17:33

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