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联泓新科(003022)答投资者问

请问贵公司生产的电子特气是否可以应用于Micro LED 上游芯片制造

您好,公司目前主要特气产品为电子级氯化氢、电子级氯气,均可应用于Micro LED芯片制造,其中电子级氯化氢主要用于硅基衬底的清洗,电子级氯气主要用于刻蚀等环节。谢谢!

来源:互动易     答复时间:2026/3/10 9:08:02

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