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中瓷电子(003031)答投资者问

贵公司先进陶瓷 静电卡盘 精密陶瓷零部件等是否可用于晶圆制造（包括存储芯片）前道工艺设备

您好，公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于半导体关键设备中。公司陶瓷静电卡盘作为晶圆加工设备关键耗材，用于晶圆制造，谢谢您的关心。

来源：互动易     答复时间：2026/1/28 16:36:27

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