赛微电子(300456)答投资者问
特斯拉机器人有用到的IMU惯性测量单元等一系列传感器，是不是也是基于MEMS技术产生？
您好，MEMS工艺技术可支持包括IMU等惯性器件晶圆的开发及制造，谢谢关注！
来源：互动易 答复时间：2025/12/19 5:59:00
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