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英杰电气(300820)答投资者问

请问公司上半年是否有金刚石、碳化硅、氮化镓、氮化铝等CVD设备用射频电源的批量销售?

您好!您提及的电源产品,隶属于公司半导体等电子材料业务板块,金刚石设备与碳化硅设备电源产品是其中的核心产品。这类产品在数年前实现研发突破后,已进入向客户批量供货阶段,目前处于持续状态。需特别说明的是,此类电源不属于射频电源范畴;公司射频电源的核心应用场景为半导体先进制程关键设备,目前主要用于刻蚀设备与薄膜沉积设备。感谢您的关注。

来源:互动易     答复时间:2025/10/21 9:14:24

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