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北方华创(002371)答投资者问

公司子公司芯源微在光刻机（胶）产品有哪些？例如涂胶显影设备、单片式湿法设备等。

您好，芯源微的主要产品包括12英寸前道及后道涂胶显影设备、6-8英寸化合物半导体涂胶显影设备、12英寸物理清洗设备、热硫酸清洗设备、超临界清洗设备，以及临时键合解键合设备等。感谢关注！

来源：互动易     答复时间：2025/10/13 18:15:52

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