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英杰电气(300820)答投资者问

据传贵公司为国产光刻机“羲之”提高核心电源，此消息是否属实

您好，公司在半导体先进制程环节的电源供应主要是在刻蚀和薄膜沉积环节，主要作用是产生和控制等离子体，与光刻机电源的工艺目的和环境差异很大，属于不同种类的电源，目前公司暂无光刻机电源供应，谢谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2025/9/18 8:28:29

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