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英杰电气(300820)答投资者问

英伟达AI芯片下一代采用碳化硅材料.请问公司半导体射频电源可以应用于碳化硅芯片制造上吗？如可以公司有哪些技术优势？英伟达和其他厂商如果全面推开碳化硅采用会对射频电源行业有何影响？

您好，射频电源主要用于需要产生等离子体的工艺环境中，比如半导体制程环节中的刻蚀和薄膜沉积环节，碳化硅生产工艺中根据不同的工艺类型，主要以直流、交流、感应加热电源为主，谢谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2025/9/11 17:08:36

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