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国林科技(300786)答投资者问

光刻工艺中,光刻机以及光刻掩膜板表面因人员操作或环境沉降 ,会积累微生物,需定期消毒以避免交叉污染。请问公司臭氧水杀菌系统能否用于光刻相关设备的杀菌清洁?

尊敬的投资者,您好。臭氧水具有高氧化性,同时兼具清洁效率和环保特性,能够满足各类场合中臭氧杀菌消毒的需求。感谢您的关注。

来源:互动易     答复时间:2025/9/12 17:13:40

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