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汉钟精机(002158)答投资者问

董秘您好，请问我司半导体真空泵可适配多少纳米制程？公司设备是否通过 SEMI 认证？

你好，半导体真空泵的核心功能是为半导体制造设备提供关键的真空环境，不局限于特定纳米制程节点，而是在各种制程工艺要求下，确保在规定时间内达到制程所需要的真空度。关于认证方面，公司半导体真空泵2017年就已通过SEMI认证。感谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2025/9/1 15:29:06

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