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矽电股份(301629)答投资者问

贵公司的光刻机专利主要用于半导体制造中的自动化校准和上下料装置。而这些专利技术应用于光刻机等半导体设备中，请问主要是提升生产效率和精度吗？

尊敬的投资者您好，相关专利技术已应用于公司曝光机生产，该产品主要应用于二极管、可控硅、MOSFET等功率半导体关键领域的晶圆曝光。感谢您的关注与支持。

来源：互动易     答复时间：2025/11/13 15:38:30

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