矽电股份(301629)答投资者问
请问贵公司拥有17项光刻机专利，这些专利技术主要服务于光刻机的子系统，而非光刻机的整机研发吗？
尊敬的投资者您好，相关专利技术已应用于公司曝光机生产，该产品主要应用于二极管、可控硅、MOSFET等功率半导体关键领域的晶圆曝光。感谢您的关注与支持。
来源：互动易 答复时间：2025/11/13 15:38:49
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