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汇成真空(301392)答投资者问

公司开发的锡滴过滤与真空蒸馏回收系统，此前称已集成于上海微电子LPP-EUV光源，可将锡利用率提升至95%。请问该系统目前在客户产线的实际运行中，锡纯度恢复是否稳定达到99.999%的EUV光源要求？是否已进入中芯国际等晶圆厂的EUV验证线测试？

尊敬的投资者，您好。公司暂无该产品，感谢您的关注。

来源：互动易     答复时间：2025/8/26 15:57:18

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