精测电子(300567)答投资者问-证券之星

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精测电子(300567)答投资者问

董秘你好！近期国产电子束光刻机问世，被质疑刻画速度慢不符合商业化应用，只是骗补贴的噱头。贵司7nm电子束量测设备也是这样吗？

您好！半导体前道量测领域膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备等部分主力产品已完成7nm先进制程的交付及验收，目前更加先进制程的产品正在验证中。公司电子束设备在多家客户已实现批量订单，在公司营收占比持续提升，有关公司产品情况，请以公司披露的相关公告为准。感谢您对公司的关注，谢谢！

来源：互动易答复时间：2025/11/3 15:44:53

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