同飞股份(300990)答投资者问
同飞股份的氟化液制冷机组精度达到±0.02°的超高精度温控，这一技术指标在半导体设备温控领域有何重要意义？公司是如何实现这一高精度控制的？
尊敬的投资者您好，公司采用分段PID控制结合电热补偿的技术方案，实现高精度温控，感谢您的关注。
来源：互动易 答复时间：2025/8/20 17:07:20
免责声明：本信息由证券之星从公开信息中摘录，不构成任何投资建议；证券之星不保证数据的准确性，内容仅供参考。
上市公司一周热度排行
56
52
44
43
41
38
36
34
首页
微信公众号
证券之星APP
