国林科技(300786)答投资者问
公司专注的光刻清洗工艺的臭氧清洗与传统化学清洗相比，优势与好处在哪？
尊敬的投资者，您好。根据清洗质的不同，目前半导体行业清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种工艺路线。湿法清洗是采用特定的化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，以去除品圆制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层、抛光残留物等物质。传统的RCA清洗法需要大量的化学试剂，带来了成本的增加以及均匀性不一致的问题，高浓度臭氧水清洗技术或与传统的清洗技术结合（RCA清洗、稀释化学法、IMEC清洗法及单品片清洗）可有效避免或减少浓硫酸、氢氟酸等化学药剂的使用量，去除有机污染物的同时还能在品圆表面形成一层致密的氧化膜。感谢您的关注。
来源：互动易 答复时间：2025/7/2 16:13:54
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