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珂玛科技(301611)答投资者问

目前12寸静电卡盘在客户端（如中微半导体、北方华创）的验证进度如何？是否已通过关键参数测试？预计何时实现批量交付？面对国际巨头（如美国应用材料）的专利壁垒，公司如何规避技术侵权风险？

尊敬的投资者您好！公司目前12英寸ICP/CCP刻蚀机Monopolar静电卡盘已通过B公司验证，并小批量产、确认销售收入，多区加热静电卡盘处于验证测试过程中。公司掌握关键陶瓷材料配方，从材料端开始自主开发静电卡盘系列产品，通过专利申请和核心技术保密等多种方式保护公司自主核心技术体系，并按照客户性能及工艺要求对具体产品进行定制化研发及生产。感谢您的关注！

来源：互动易     答复时间：2025/6/26 15:12:22

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