福晶科技(002222)答投资者问
董秘你好!请问下面这个消息是真实的吗?福晶科技最新研发的激光诱导放电等离子体(LDP)技术,正以颠覆性姿态冲击全球光刻机霸主阿斯麦。这项技术仅需将微量锡蒸气置于电极之间,通过高压电直接生成极紫外光源,成功实现13.5纳米芯片制程所需的关键光刻波长。
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来源:互动易 答复时间:2025/3/13 16:58:57
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