机器人(300024)答投资者问
你好,子公司新松半导体在半导体行业有哪些领先技术和产品。
您好,目前,公司半导体装备产业化应用已初具规模,自主开发的产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台。在产品技术的研发迭代方面,公司在既有真空机械手产品的基础上,开展技术迭代与升级工作,如通过优化真空机械手的设计结构,提高晶圆搬运节拍;通过更新控制器控制系统软件功能,提高整体传输精度等。感谢关注。
来源:互动易 答复时间:2025/1/27 19:41:16
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