国林科技(300786)答投资者问
董秘你好，请问贵公司自研的半导体专用臭氧清洗设备可应用于哪些设备?
尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。感谢您的关注。
来源：互动易 答复时间：2024/12/20 15:05:26
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