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中瓷电子(003031)答投资者问

贵公司静电卡盘业务开展如何

您好，公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。公司紧跟市场及技术方向来加快新产品开发，产品结构等亦将随市场需求变化而调整，谢谢您的关心。

来源：互动易     答复时间：2024/11/20 15:28:33

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