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英诺激光(301021)答投资者问

请介绍下公司在半导体光刻机领域的研发布局,有哪些技术可以应用到该领域?

尊敬的投资者,您好!目前公司在半导体领域提供的主要产品为碳化硅退火制程的激光器,亦有少量应用在硅基半导体检测等关键制程的紫外和深紫外等激光器,客户以国外知名半导体装备公司为主。感谢您的关注!

来源:互动易     答复时间:2024/9/9 15:42:49

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