南大光电(300346)答投资者问
董秘先生，介绍一下公司M O源国内外市场占比。气体年产国内排名第几？光刻胶研发到第几个环节了？谢谢。
感谢您的关注！公司是全球主要的MO源供应商，国内市场份额超40%。 公司氟类电子特气实现“双基地”模式，其中三氟化氮产能国内第二。 氢类特气方面，公司已成为国内电子级磷烷、砷烷的第一大供应商。 公司ArF光刻 胶有三款产品通过客户验证并实现少量销售，目前有多款产品正在关键客户处验证。具体请关注相关信息披露。
来源：互动易 答复时间：2024/5/10 17:53:49
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