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天准科技(688003)答投资者问

董秘你好！请问公司的高端半导体设备领域有哪些战略布局？是否为自主可控技术？

您好，感谢对公司的关注。天准科技的德国子公司Muetec，专注于半导体前道晶圆的量测设备，包括Overlay、OCD等，苏州矽行半导体专注于前道晶圆的缺陷检测设备，包括明场检测设备、暗场检测设备等，其中的关键部件均已实现自主可控。

来源：e互动     答复时间：2026/6/11 13:33:00

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