中微公司(688012)答投资者问
贵公司的高精度刻蚀设备在SiC芯片制造中应用广泛，是否与时代电气合作优化工艺？如何看待时代电气在车规级SiC模块领域的突破？
您好，相关情况请您以时代电气披露的公告信息为准。谢谢您的关注。
来源：e互动 答复时间：2025/4/28 11:33:38
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