博众精工(688097)答投资者问
请问董秘：公司率先突破技术壁垒自主研发的，用于光刻机核心模块的高稳定度直流高压电源，目前已经可以生产出货了吗？
尊敬的投资者，您好！首先，感谢您对博众精工的关心。基于博众仪器官方公众号披露的数据：博众仪器首台高稳定度低纹波直流高压电源成功通过中国科学院某研究所客户的现场验收！该产品输出电压纹波≤10ppm，稳定性≤10ppm/8h。该项目于2024年11月中标，在短短的3个月内完成，已于2025年2月18日顺利出货！在2023年科技部发布的“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中，“多路宽范围高稳定度高压电源”被列为重要攻关项目。博众仪器通过自主研发，率先突破关键技术，实现高稳定度直流高压电源自主研制与产业化。高稳定度直流高压电源作为重大科学仪器设备的核心模块，如透射电子显微镜、电子束光刻机等，填补了国内空白。其技术的突破有力支撑下游国产高端装备的发展，不再受制于人。除中国科学院的项目外，其他客户的产品也将陆续交付，如粤港澳大湾区（广东）国创中心粒子应用中心200kV直流高压电源等。
来源：e互动 答复时间：2025/3/28 12:30:59
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