中微公司(688012)答投资者问
作为国内刻蚀设备龙头，公司在其它设备的研发布局如何？
您好，2024年研发投入约24.52亿元，同比增长约94.31%。目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，已有多款新型设备进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；此外，公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段公司。在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得良好进展，并积极布局碳化硅和氮化镓器件市场。谢谢您的关注。
来源：e互动 答复时间：2025/3/14 11:30:56
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