半导体设备行业行业点评:12月本土存储厂加快设备采购,膜厚量测、CMP等设备采购量大幅增加

本土存储厂继续加快设备采购。12月前后某本土存储厂商集中释放200多台工艺设备采购清单,单月采购量相当于该存储厂2017年以来累计招标1100多台工艺设备数量的15%,设备采购节奏加快,我们判断主要来自两个方面的原因,一是3DNand技术研发产业化日益成熟,一期预计从目前的2-2.5万片/月扩产到10万片/月,对应总投资额约80亿美元,由此推算出1万片/月产能对应设备采购额估计为40-45亿元;二是因5G带动台积电、三星等大量采购工艺设备,导致国际半导体设备采购周期延长,因而本土晶圆厂可能提前采购。

工艺设备采购仍以刻蚀、CVD、热处理、量测设备为主,而PVD、CMP和镀铜设备占比提升。200多台工艺设备采购数量中,刻蚀、CVD、热处理、量测设备依次是35台、46台、27台、46台,数量占比依次是17%、23%、13%、23%,而PVD、CMP和镀铜设备依次采购5台、14台、3台,采购比例均有较大幅度的上升,另有2台i-line光刻机、6台涂胶显影设备、4台离子注入机、9台清洗设备、3台去胶设备的采购计划也相应进入招标清单中。

膜厚量测设备采购需求量大幅增加。12月份该存储厂46台的量测设备招标中,膜厚量测设备25台占到量测设备的54%,而2017年以来累计膜厚量测设备招标60台,仅占量测设备的23%,且单月膜厚量测设备招标数量相当于过去2年来膜厚量测设备总采购量的40%,表明膜厚量测设备在3DNand中的需求量日益增加。

专注前道量测,上海精测已进入全新发展阶段。国产膜厚设备供应商中,除睿励科学仪器(上海)外,武汉精测电子集团以椭圆偏振技术为核心开发了适用于半导体工业级应用的膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统。根据公司公告,上海精测目前也已有1台膜厚的设备进入某半导体厂商,且预期后续会取得客户的重复性订单。

精测电子将成为Memory测试设备供应商。根据中国国际招标网数据显示,精测电子子公司武汉精鸿于12月24日成为长江存储5台产品级高温老化测试设备的唯一中标候选人。长江存储至今累计公布了22台老化测试设备的招标工作,其中Advantest中标7台,武汉精鸿将中标5台,美国DICorporation中标1台,另外9台处于招标阶段。

投资建议:2020年半导体设备行业将存在三大发展动力,即全球半导体行业复苏、本土晶圆厂加快扩产、设备国产化率提升,推荐北方华创、精测电子、万业企业、晶盛机电、长川科技,建议重点关注中微公司、至纯科技。

风险因素:新产品研发进度低于预期,国际品牌降价打压国产品牌。