半导体设备行业之中微公司跟踪:投资上海睿励,支持集成电路工艺检测设备国产化

上海睿励是国内技术领先的集成电路工艺检测设备供应商。上海睿励成立于2005 年6 月,专注集成电路工艺检测设备已耕耘14 余年。上海睿励目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。上海睿励自主研发的12 英寸光学测量设备TFX3000 系列产品,已应用在28 纳米芯片生产线并在进行14 纳米工艺验证,在3D 存储芯片上达到64 层的检测能力。产品目前已成功进入世界领先芯片客户3D 闪存芯片生产线,并取得7 台次重复订单。上海睿励开发了应用于LED 蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备,也已成功进入众多客户国内LED 外延芯片生产线。

国内集成电路工艺检测设备基本上也被KLA 等外资品牌垄断,工艺检测设备国产化率接近为零。根据Gartner 统计数据,2018 年全球集成电路工艺检测设备市场规模64 亿美元,占晶圆制程设备市场的10.8%。2018 年KLA 设备销售收入33 亿美元,市占率约为50%,而应用材料、日立科技等竞争对手市场份额均为10%左右,KLA 垄断了全球光学图形化晶圆缺陷检测设备80%左右的市场份额。国内市场也基本上被KLA、应用材料、日立科技、Nanometrics 等垄断,仅有上海睿励于2017 年11 月获得长江存储2 台设备订单,表明工艺检测设备国产化进度远低于刻蚀设备、清洗设备和热处理设备的国产化速度。

中微半导体入股上海睿励,有望改善睿励内部治理结构和经营管理,加快推进工艺检测设备国产化。2018 年上海睿励收入2733 万元,且亏损4037 万元,2019 年上半年上海睿励收入仅80 万元,大幅亏损1890 万元。上海睿励目前的问题集中在成熟产品的订单未有可持续订单,本质上是股权过于分散导致股东、管理层、核心技术团人员很难在长达15 年的艰苦创业和资金约束下实现共同的发展目标。中微投资上海睿励后,既有望支持上海睿励的工艺测试设备加快国产化,也有助于利用上海睿励已有的产品和技术进行推动中微对刻蚀设备、薄膜设备的研发与销售。

中微上半年业绩高增长,新产品研发主要面向新工序和先进制程。上半年中微收入8.01 亿元增长72%,净利润0.30 亿元同期亏损1325 万元, 扣非净利润0.22亿元同期亏损0.45亿元。上半年研发投入达到1.94亿元, 占营业收入的比重为24%,与2018 年占比25%基本持平,研发支出主要投入到5 纳米及更先进的刻蚀设备和工艺优化,以及开发极高深宽的刻蚀设备、更先进的大马士革等刻蚀应用的设备、更大尺寸MOCVD 设备。

投资建议:中微在原有刻蚀设备、MOCVD 基础上,入股上海睿励布局集成电路工艺检测设备,将打破工艺检测设备全部来自进口品牌的竞争格局,强烈建议关注中微公司、北方华创、盛美半导体、长川科技、精测电子、晶盛机电、至纯科技等。

风险提示:国内半导体下游客户扩产低于预期;关键部件进口受贸易战影响。