(原标题:中微公司:在先进封装领域全面布局 已经发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备)
人民财讯12月3日电,中微公司12月3日在互动平台表示,目前中微公司在先进封装领域(包含高宽带存储器HBM工艺)全面布局,包含刻蚀、CVD、PVD、晶圆量检测设备等,且已经发布CCP刻蚀及TSV深硅通孔设备。